以高功率脈沖磁控濺射技術(shù)(HiPIMS)為代表的高離化磁控濺射技術(shù)作為一種新的物理氣相沉積技術(shù),可以明顯提高薄膜結(jié)構(gòu)可控性,進而獲得優(yōu)異的薄膜性能,在國內(nèi)外研究領(lǐng)域和工業(yè)界受到了廣泛關(guān)注和重視。為推動該技術(shù)的進步,國際上已經(jīng)形成了HiPIMS Today等一系列的國際會議對該技術(shù)放電機理、脈沖形式、等離子體輸運與診斷、以及薄膜/涂層沉積與應用等多個方面進行專題研討,為其發(fā)展與應用帶來了蓬勃動力!
中國機械工程學會表面工程分會作為全國性的學術(shù)組織,于2017年提出在國內(nèi)舉辦高功率脈沖磁控濺射技術(shù)與應用專題研討會,并連續(xù)在上海、蘭州、深圳和重慶成功舉辦四屆,交流報告數(shù)量和質(zhì)量顯著提升,交流內(nèi)容涉及高功率脈沖磁控濺射過程中電子與離子的相互作用,深振蕩、中頻疊加等電源與陰極靶結(jié)構(gòu)協(xié)同控制等基礎(chǔ)研究,工藝參數(shù)對膜層性能的影響、工業(yè)化存在的主要問題及對策等。
定于2025年6月20-22日在蘭州召開“2025高功率脈沖磁控濺射技術(shù)與應用會議”。本次具有技術(shù)前瞻性的專題會議重回蘭州召開,也將推動當?shù)乇∧ぜ夹g(shù)的進一步發(fā)展。熱忱歡迎國內(nèi)外從事薄膜技術(shù)研究與應用的科技工作者參會,同時,也歡迎有意推動我國薄膜技術(shù)發(fā)展的企業(yè)參加會議和提供支持!
【主辦單位】
中國機械工程學會表面工程分會
【承辦單位】
西北師范大學
蘭州資源環(huán)境職業(yè)技術(shù)大學
【支持單位】
大連理工大學
哈爾濱工業(yè)大學
中國機械總院集團武漢材料保護研究所有限公司
北京大學深圳研究生院
中國科學院蘭州化學物理研究所
中國科學院寧波材料技術(shù)與工程研究所
蘭州空間技術(shù)物理研究所
特種材料表面工程全國重點實驗室
【協(xié)辦單位和贊助單位】
沈陽樂貝真空技術(shù)有限公司
征集中……
【支持媒體】
表面工程在線
《中國表面工程》
《表面技術(shù)》
《材料保護》
《表面工程與再制造》
【會議地點及日程】
(1)會議地點
蘭州
(2)會議日程
6月20日(周五):會議注冊報到
6月21日(周六):全體報告和專題討論
6月22日(周日):交流返程
【報告征集】為進一步擴大會議影響,本次專題會議面向社會征集演講報告,范圍包括:
1、等離子體放電與診斷;
2、濺射靶材與工藝;
3、先進涂層與薄膜技術(shù);
4、hipims電源與裝備;
5、hipims涂層的應用與發(fā)展趨勢等。
歡迎行業(yè)從業(yè)人員從技術(shù)應用層面出發(fā)積極參與交流,踴躍投稿。
截止時間:2025年5月30日(登錄官網(wǎng)注冊提交,額滿即止)
【會議注冊及住宿】
會議注冊費:
(1)表面工程分會委員 1000元/人;
(2)6月10日(含)前注冊 正式代表1000元/人,學生代表800元/人(憑學生證);
(3)6月10日后及現(xiàn)場注冊 正式代表1200元/人,學生代表900元/人(憑學生證)。
住宿:待定
統(tǒng)一安排餐食,住宿費用自理。注冊、繳費、提交報告請訪問會議官網(wǎng)
https://meeting.cmes.org/?sid=1433&mid=358&v=100
【會議聯(lián)系方式】
中國機械工程學會表面工程分會
聯(lián)系人:
段金弟 13971036507 蔣 超 18971299299
西北師范大學
聯(lián)系人:
李文生 13919250687 趙 雲(yún) 15294201657
編輯: 鐘永剛
發(fā)布單位: 中國機械工程學會總部綜合管理處
關(guān)鍵詞:磁控濺射技術(shù)